什么是無塵車間? | |
日期:2018-11-10 人氣:4520 | |
按照國際慣,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非沒有一點灰塵,而是控制在一個微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是的要求。 每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。為保產品生產環境或其它用途的潔凈室所要求的空氣潔凈度要求,須采用多項綜合技術措施: 1.采用產生污染物少的生產工藝及設備; 2.采取的隔離負壓措施,防止生產工藝產生的污染物向四周擴散; 3.加強潔凈室的管理,按規定進行清掃、滅菌等工作; 4.減少人員及物料帶入室內的污染物質; 5.人、物須進行分流,不允許人流、物流相互交叉; 除采取上述措施外,較重要的技術措施是: 具體而言,凈化工程中潔凈室內的空氣凈化處理就是根據房間的不同的潔凈度等級要求,采用不同的方式送入經過處理的數量不等的清潔空氣,同時排走相應數量的攜帶有在室內所產生的污染物質沾污的臟空氣;依靠這樣的動態平衡,使室內環境維持在所需要的空氣潔凈度等級。 通過相應的裝置,送入足夠量的、經過處理的潔凈空氣,以替換或稀釋室內在正常工作時所產生的污染物質污染的空氣;同時,帶走室內的污染物質。即為空氣凈化的基本原理。 空氣潔凈度是潔凈環境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度,通??諝庵泻瑝m濃度高則空氣潔凈度低,含塵濃度低則潔凈度高;按空氣中懸浮粒子濃度來劃分潔凈室及相關受控環境中空氣潔凈度等級,就是以每立方米空氣中的較大允許粒子數來確定其空氣潔凈度等級。 因原有的潔凈標準是美國首先制定的,故其單位是英制,也是應用較為廣泛的一種; 用英制表示時,潔凈度等級名稱為每立方英尺空氣中≥0.5μm塵粒的較大允許粒子 用國際單位表示時, 潔凈度等級名稱為每立方米空氣中≥0.5μm塵粒的較大允許粒子數的常用對數值。 |
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